គុណសម្បត្តិនៃម៉ាស៊ីនប្លាស្មា

បើប្រៀបធៀបទៅនឹងបច្ចេកវិជ្ជាកែច្នៃបែបប្រពៃណី ឧបករណ៍ប្លាស្មាផ្តល់នូវគុណសម្បត្តិសំខាន់ៗដូចខាងក្រោមៈ

1. ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់៖ ឧបករណ៍ឆ្លាក់ប្លាស្មាអាចដំណើរការម៉ាស៊ីនដែលមានភាពជាក់លាក់ submicron ដែលអនុញ្ញាតឱ្យផលិតឧបករណ៍មីក្រូ-ស្មុគស្មាញ។

2. ល្បឿនខ្ពស់៖ ប្លាស្មា etchers បង្កើនល្បឿន etching យ៉ាងខ្លាំង ដែលជាលទ្ធផល ប្រសិទ្ធភាពដំណើរការខ្ពស់។

3. គុណភាពខ្ពស់: ដោយការគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់នូវប្រតិកម្មប្លាស្មា គុណភាពផ្ទៃនៃសម្ភារៈគឺកាន់តែមានឯកសណ្ឋាន ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពរលោង និងឯកសណ្ឋាននៃផ្ទៃ។