កម្មវិធីជាក់លាក់នៃឧបករណ៍សម្អាតប្លាស្មា

ម៉ាស៊ីនសម្អាត/ឆ្លាក់ប្លាស្មាបង្កើតប្លាស្មាដោយដាក់អេឡិចត្រូតពីរនៅក្នុងធុងបិទជិតដើម្បីបង្កើតវាលអគ្គីសនី។ ម៉ាស៊ីនបូមធូលីត្រូវបានប្រើដើម្បីរក្សាកម្រិតបូមធូលីជាក់លាក់។ នៅពេលដែលឧស្ម័នកាន់តែកម្រ ចម្ងាយរវាងម៉ូលេគុល និងចលនាសេរីនៃម៉ូលេគុល ឬអ៊ីយ៉ុងក៏កើនឡើងផងដែរ។ នៅក្រោមឥទិ្ធពលនៃវាលអគ្គីសនី អ៊ីយ៉ុងទាំងនេះបុក និងបង្កើតប្លាស្មា។ អ៊ីយ៉ុងទាំងនេះមានប្រតិកម្មខ្ពស់ ដោយមានថាមពលគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីបំបែកចំណងគីមីស្ទើរតែទាំងអស់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានប្រតិកម្មគីមីលើផ្ទៃដែលប៉ះពាល់ណាមួយ។ ប្លាស្មាឧស្ម័នផ្សេងៗគ្នាមានលក្ខណៈសម្បត្តិគីមីខុសៗគ្នា។ ជាឧទាហរណ៍ ប្លាស្មាអុកស៊ីតកម្មមានអុកស៊ីតកម្មខ្ពស់ មានសមត្ថភាពអុកស៊ីតកម្ម photoresist ដើម្បីបង្កើតឧស្ម័ន ដូច្នេះសម្រេចបាននូវប្រសិទ្ធភាពសម្អាត។ ប្លាស្មាឧស្ម័ន corrosive មាន anisotropy ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលបំពេញតាមតម្រូវការនៃការ etching ។ ការព្យាបាលប្លាស្មាបង្កើតពន្លឺ ដូច្នេះឈ្មោះបញ្ចេញពន្លឺ។
យន្តការនៃការសម្អាតប្លាស្មាពឹងផ្អែកជាចម្បងលើ "ការធ្វើឱ្យសកម្ម" នៃភាគល្អិតសកម្មនៅក្នុងប្លាស្មាដើម្បីលុបស្នាមប្រឡាក់លើផ្ទៃ។ នៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃយន្តការប្រតិកម្ម, ការសម្អាតប្លាស្មាជាទូទៅពាក់ព័ន្ធនឹងដំណើរការដូចខាងក្រោម: ឧស្ម័នអសរីរាង្គត្រូវបានរំភើបចូលទៅក្នុងស្ថានភាពប្លាស្មាមួយ; សារធាតុឧស្ម័នត្រូវបានស្រូបយកទៅលើផ្ទៃរឹង; ក្រុម adsorbed មានប្រតិកម្មជាមួយនឹងម៉ូលេគុលនៅលើផ្ទៃរឹងដើម្បីបង្កើតម៉ូលេគុលផលិតផល; ម៉ូលេគុលផលិតផលរលួយចូលទៅក្នុងដំណាក់កាលឧស្ម័ន; ហើយសំណល់ប្រតិកម្មត្រូវបានយកចេញពីផ្ទៃ។

លក្ខណៈពិសេសដ៏សំខាន់បំផុតនៃបច្ចេកវិទ្យាសម្អាតប្លាស្មាគឺថា វាអាចព្យាបាលប្រភេទស្រទាប់ខាងក្រោមណាមួយ រួមទាំងលោហៈ សារធាតុ semiconductors អុកស៊ីដ និងវត្ថុធាតុ polymer ភាគច្រើនដូចជា polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy និងសូម្បីតែ polytetrafluoroethylene ។ វាអាចសម្អាតទាំងផ្ទៃទាំងមូល និងតំបន់ជាក់លាក់ ព្រមទាំងរចនាសម្ព័ន្ធស្មុគស្មាញ។